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ChemTech International 켐텍 인터내셔날

공정용 케미칼

LG-200 Laser Grooving Coating Solution

Laser Saw 공정의 Chipping · Thermal Stress · Debris를 막는 수용성 코팅 용액

02제품 개요

LG-200은 Laser Saw 공정에서 발생하는 Chipping과 Thermal Stress 등을 방지하기 위한 수용성(Water Soluble) 코팅 용액입니다.

웨이퍼 표면에 Debris가 남지 않도록 보호하고, DI Water 세정 후 깨끗하게 건조된 표면을 남깁니다. 우수한 세척성, 강한 코팅막 형성, 열 안정성을 갖췄으며 친환경 소재로 만들었습니다.

03특징 및 장점

  • 01강한 세척력 · Bump 부식 방지

    찌꺼기를 없애는 세척력과 Solder Bump 부식 방지 기능을 갖췄습니다.

  • 02DI Water로 완전 제거
  • 03빠른 건조

    웨이퍼를 빠르고 완전하게 건조합니다.

  • 04거품 없는 재료
  • 05온도 변화에 안정

    균일하게 도포되고 온도 변화에 안정적입니다.

  • 06무취 · RoHS · Halogen Free

04적용 공정 · 분야

웨이퍼 다이싱 공정 내 적용 위치
  1. 1 PROTECTIVE COATING – LG-200 레이저 가공 전 웨이퍼 표면에 수용성 코팅
  2. 2 LASER GROOVING 레이저로 표면층 그루빙 — Chipping · Thermal Stress · Debris 방지
  3. 3 BLADE DRESSING 다이싱 블레이드 형상 보정 · 날 세우기 Dressing Board
  4. 4 BLADE DICING 블레이드로 칩 단위 절단
  5. 5 DI WATER CLEANING – LG-200 코팅막을 DI Water로 제거하고 건조

일반적인 공정 흐름 기준입니다. 실제 순서와 조건은 고객 공정에 따라 다릅니다.

  • Wafer Laser Grooving
  • Laser Saw 공정
  • Solder Bump 웨이퍼

05사양 · 물성

외관투명 액상 (Transparent liquid)
평가 조건25 ℃

06사용 · 관리 조건

제거DI Water 세정

07포장 및 보관

자료 정리 중입니다. 상세 수치가 필요하시면 TDS를 요청해 주십시오.

08문의 · 자료 요청

제품명이 자동으로 입력된 견적문의 양식으로 연결됩니다. TDS · MSDS도 같은 양식으로 요청하실 수 있습니다.

전화 032-222-0600~1 · 이메일 sjahn@chemtechi.com