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ChemTech International 켐텍 인터내셔날

工艺化学品

LG-200 Laser Grooving Coating Solution

防止激光切割工艺中崩边、热应力及碎屑的水溶性涂层液

02产品概述

LG-200 是一种水溶性(Water Soluble)涂层液,用于防止激光切割(Laser Saw)工艺中产生的崩边(Chipping)和热应力(Thermal Stress)等问题。

保护晶圆表面免受碎屑附着,经 DI 水清洗后留下洁净干燥的表面。具备优异的可清洗性、强涂层成膜性和热稳定性,采用环保材料制成。

03特点与优势

  • 01清洗力强 · 防凸点腐蚀

    去除污渍,防止焊料凸点腐蚀。

  • 02DI 水即可完全去除
  • 03快速干燥

    使晶圆快速且完全干燥。

  • 04无泡沫材料
  • 05温度变化下稳定

    涂布均匀,温度变化下性能稳定。

  • 06无气味 · RoHS · 无卤

04适用工艺 · 领域

在晶圆切割工艺中的应用位置
  1. 1 PROTECTIVE COATING – LG-200 激光加工前在晶圆表面涂布水溶性涂层
  2. 2 LASER GROOVING 激光开槽表层 — 防止崩边 · 热应力 · 碎屑
  3. 3 BLADE DRESSING 修正切割刀片形状并开刃 Dressing Board
  4. 4 BLADE DICING 用刀片切割成单颗芯片
  5. 5 DI WATER CLEANING – LG-200 用去离子水去除涂层并干燥

以一般工艺流程为准,实际顺序与条件因客户工艺而异。

  • Wafer Laser Grooving
  • Laser Saw 工艺
  • 焊料凸点晶圆

05规格 · 物性

外观透明液体 (Transparent liquid)
评估条件25 ℃

06使用 · 管理条件

去除DI 水清洗

07包装与储存

资料整理中。如需详细数据,请索取 TDS。

08咨询 · 资料索取

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电话 +82-32-222-0600~1 · 邮箱 sjahn@chemtechi.com