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ChemTech International 켐텍 인터내셔날

工程用ケミカル

LG-200 Laser Grooving Coating Solution

レーザーソー工程のチッピング · 熱応力 · デブリを防ぐ水溶性コーティング液

02製品概要

LG-200 は、レーザーソー(Laser Saw)工程で発生するチッピングや熱応力(Thermal Stress)などを防ぐための水溶性(Water Soluble)コーティング液です。

ウェーハ表面にデブリが残らないよう保護し、DI 水洗浄後はきれいに乾燥した表面を残します。優れた洗浄性、強いコーティング膜形成、熱安定性を備え、環境に配慮した材料で作られています。

03特長とメリット

  • 01強い洗浄力 · バンプ腐食防止

    汚れを除去する洗浄力と、はんだバンプの腐食防止機能を備えています。

  • 02DI 水で完全除去
  • 03速乾性

    ウェーハを素早く完全に乾燥させます。

  • 04泡の出ない材料
  • 05温度変化に安定

    均一に塗布でき、温度変化に対して安定しています。

  • 06無臭 · RoHS · ハロゲンフリー

04適用工程 · 分野

ウェーハダイシング工程での適用位置
  1. 1 PROTECTIVE COATING – LG-200 レーザー加工前にウェーハ表面へ水溶性コーティング
  2. 2 LASER GROOVING レーザーで表層をグルービング — チッピング · 熱応力 · デブリを防止
  3. 3 BLADE DRESSING ダイシングブレードの形状補正 · 目立て Dressing Board
  4. 4 BLADE DICING ブレードでチップ単位に切断
  5. 5 DI WATER CLEANING – LG-200 DI 水でコーティングを除去し乾燥

一般的な工程フローに基づきます。実際の順序や条件はお客様の工程により異なります。

  • Wafer Laser Grooving
  • Laser Saw 工程
  • はんだバンプ付きウェーハ

05仕様 · 物性

外観透明液体 (Transparent liquid)
評価条件25 ℃

06使用 · 管理条件

除去DI 水洗浄

07包装と保管

資料を準備中です。詳細な数値は TDS をご請求ください。

08お問い合わせ · 資料請求

製品名が自動入力されたお見積りフォームに移動します。TDS · MSDS も同じフォームでご請求いただけます。

電話 +82-32-222-0600~1 · メール sjahn@chemtechi.com